PS1302 HANBELL 汉钟干式螺旋真空泵主要点有:
1. 真空泵结构简单,组件少,故障率低。
2. 干式运转,制程气体与粉尘完全不会接触到真空油,因此能被顺利排出真空泵。
3. 真空泵真空油不与制成气体接触,不需更换真空油。
4. 采用水冷密封电机,电机温度低,电机寿命长。
5. 真空度佳,真空度可达4x10-4mbar。
6. 运转噪音低<70dBA。
7. 因为无磨擦组件,真空泵寿命长,转子与壳体不接触,运转效率高,消耗电流低。
真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。
干式螺旋真空泵浦 S/N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 S/N型的型号有:PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特色:
1. 泵浦 (Pump) 温度控制精准
干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。
2. 密封马达安全性高
真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。
3. 微电脑控制保护周全
真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产业。
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